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MEMS传感器是MEMS时间的一个行使,它们是欺骗微电子和微死板加工时间修筑出来的新型传感器。这些传感器平淡拥有体积幼、重量轻、本钱低、功耗低、牢靠性上等特性,适合批量化坐褥,而且易于集成和完毕智能化。MEMS传感器可能用于检测各类物理量,如压力、加快率、温度、湿度、光学性格等,平常行使于汽车、医疗、消费电子、工业自愿化等界限。
行为MEMS传感器的要紧分类,MEMS惯性传感器(Micro-Electro-Mechanical Systems Inertial Sensor)是一种欺骗微纳时间修筑的微型惯性传感器,紧要用于衡量物体的加快率和角速率。它平常行使于惯性导航、运动掌握、样子坚固等界限,其紧要分类如下:
按MEMS惯性传感器的差异精度来看,低精度MEMS传感器紧要行使于消费电子界限,中精度MEMS传感器紧要行使于汽车行业,高精度MEMS惯性传感器紧要行使于航天和国防界限。
遵照IC insight,2023年环球惯性传感器出货组织中,47.0%为加快计,8.4%为陀螺仪,44.6%为IMU。近年来,独立的MEMS陀螺仪正在高端消费电子和汽车电子墟市中渐渐被IMU所取代,于是IMU占比比拟过去有所擢升。
惯性传感器相对而言时间难度较高,环球墟市的供应商就特别有限且凑集,环球前四大厂商意法半导体、InvenSense、博世和AKM攻陷了70%安排的墟市份额。目前国内MEMS惯性传感器公司有星网宇达、深迪半导体(上海)、美新半导体(无锡)、矽睿科技、耐威科技、明皜传感等等,然而国内公司正在贸易范畴、时间秤谌、产物组织方面与海表比拟存正在彰着差异,国内MEMS惯性传感器公司范畴还相对较幼,单个企业较少有年贩卖额领先1亿美金。
消费类墟市仍是惯性MEMS器件最大的细分墟市,然而价钱压力强盛,比赛也利害常激烈,但跟着智能汽车财富的发达,其正在汽车界限的行使墟市将会很疾超越消费电子。遵照ICWISE的数据,中国MEMS惯性传感器墟市范畴由2018年的45.7亿元增至2023年的85.6亿元。跟着自愿驾驶迅速发达,高精度定位导航需求牵引与当下汽车墟市销量富强趋向下,MEMS惯性传感器(陀螺仪)刚需发作,估计中国惯性传感器墟市仍以较疾的增速拉长,前瞻开端统计,2024年中国MEMS惯性传感器墟市范畴贴近97亿元。
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